应用行业
发布时间：2024-02-20
浏览量： 联轴器在半导体和电子行业中扮演着极为特殊的角色，其性能直接决定了精密制造设备的极限精度、可靠性和无污染水平。该行业是联轴器技术应用的最高端领域。
晶圆加工与传输设备：
光刻机： 连接精密电机与晶圆台/掩模台，实现纳米级的步进或扫描运动。
晶圆搬运机器人： 用于机器人关节，实现晶圆在真空腔室或大气环境下的无损、快速、精准传输。
封装与测试设备：
引线键合机： 驱动键合头进行超高频率、微米精度的运动。
芯片分选机/测试机： 用于精确定位芯片，进行电气性能测试。
平板显示（FPD）制造设备：
连接驱动电机，精确控制玻璃基板的传输和定位。
半导体行业对联轴器的要求达到了近乎“苛刻”的程度：
超高真空兼容性：
材料必须采用低放气率的特殊不锈钢或铝合金，在真空环境下不会释放气体分子，污染腔室并影响工艺良率。
极高的洁净度：
必须采用无尘、无脱落的设计和材质。联轴器在运行中绝不能产生任何金属或非金属微粒，以免掉落在晶圆上造成致命缺陷。
绝对零背隙与超高刚性：
必须实现真正的零背隙和极高的扭转刚度，以确保纳米级的重复定位精度和极佳的动态响应，任何微小的误差或延迟都是不可接受的。
极低的热膨胀：
材料的热膨胀系数必须极低，确保在设备温度波动时，传动系统的精度保持稳定。
耐腐蚀性：
需能抵抗特定工艺中可能遇到的酸性或碱性气体的轻微腐蚀。
超高真空型波纹管联轴器：
特点： 该领域的绝对主力。采用特殊不锈钢一体成型，无相对滑动部件，零背隙、零产尘、极低惯量，且能通过波纹管的变形补偿偏差。
应用： 广泛应用于光刻机、真空搬运机器人等对洁净和真空要求最高的场合。
特种膜片式联轴器：
特点： 采用特殊不锈钢材质和工艺制造，同样满足零背隙、高刚性和无尘要求。扭矩容量通常大于波纹管联轴器。
应用： 用于需要传递更大扭矩的精密运动平台或直驱电机连接。
柔性铰链：
特点： 一种无摩擦、无背隙的运动机构，通过材料本身的弹性变形实现极小范围内的精确偏转。并非传统联轴器，但功能类似。
应用： 用于光刻机物镜等超精密微动调焦机构中。
在半导体和电子行业，联轴器已不再是传统的机械零件，而是精密机电系统的一部分。其选材、设计和制造工艺都围绕着 “零污染”和 “超精密” 两大核心原则。
选择一款符合半导体标准的联轴器，是保障动辄数千万美元的尖端制造设备正常运行、实现超高良品率的基础且关键的一环。它确保了从纳米到毫米级别的制造精度得以实现。
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